[과학기술정보통신부](정책지정)2023년도 나노 및 소재기술개발사업(나노팹 선행공정 기술개발/시스템반도체기술사업화 지원)？신규과제 접수_(2023)(정책지정)2023년도 나노 및 소재기술개발사업(나노팹 선행공정 기술개발/시스템반도체기술사업화 지원) 신규과제 접수 > R&D

(정책지정)2023년도 나노 및 소재기술개발사업(나노팹 선행공정 기술개발/시스템반도체기술사업화 지원) 신규과제 접수

 ㅇ [사업명]과제제안요구서명(정책지정 기관명)

   - [나노팹 선행공정 기술개발]200 mm Cu BEOL 기반 이종집적용 첨단패키지 선행공정 기술 개발(한국나노기술원)

   - [나노팹 선행공정 기술개발]8인치 기반 차세대 집적기술향 130nm급 CMOS 기술 개발(나노종합기술원)

   - [나노팹 선행공정 기술개발]8인치 SiC 웨이퍼 기반 멀티센서 SoC 플랫폼 개발(포스텍 나노융합기술원)

   - [시스템반도체기술사업화 지원]시스템반도체 소재·소자 상용화 지원사업 - 기업지원(나노종합기술원, 한국나노기술원)

ㅇ 연구책임자 제출기간 :  2023.5.9.(화) 14시까지

ㅇ 주관연구개발기관 승인기간 :  2023.5.9.(화) 18시까지